日本日酸TANAKA腐蚀性气体用压力调整器

日本日酸TANAKA腐蚀性气体用压力调整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 特点介绍

●S-TORR调节器是在半导体工艺气体生产线中备受信赖的TORR调节器基础上开发的超高纯度气体用压力调节器。

●通过排除气体接触部的螺纹结构，标准实施电解研磨，实现了水分置换特性、颗粒减少。

●主体与接头的连接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金属密封结构。由于具有较高的外部密封性，即使在纯度较高的气体上也能放心使用。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●STV2300SH系列被称为重要部件的腐蚀性气体影响特别大的部件，STV2300AH系列在调整器主体的接触气体金属部分全部采用耐腐蚀性高的Ni-Cr-Mo合金。

日本日酸TANAKA腐蚀性气体用压力调整器 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300SH/AH 规格参数

●使用材质接触气体部主体:隔膜:过滤器:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS3 16L（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金（2300AH系列）Ni-Cr-Mo合金Ni-Cr-Mo合金SUS3 16LSUS316L（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金（2300AH系列）Ni-Cr-Mo合金、SUS316 L、氟树脂（2300SH系列）Ni-Cr-Mo合金、氟树脂（2300AH系列）C3604ABS树脂、C36 04