日本日酸TANAKA超高纯度压力调节器高压阀

日本日酸TANAKA超高纯度压力调节器高压阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300 特点介绍

S-TORR调节器是在半导体工艺气体生产线中备受信赖的TORR调节器基础上开发的超高纯度气体用压力调节器。

●通过排除气体接触部的螺纹结构，标准实施电解研磨，实现了的水分置换特性、颗粒减少。

●主体与接头的连接采用焊接，隔膜部的外部密封采用金属密封结构。由于具有较高的外部密封性，即使在纯度较高的气体上也能放心使用。

●在一次室的流路内置过滤器，减少了内部泄漏的发生。

●包括泄漏测试在内的全部出货检验。

●STV2300系列作为一次高压用中流量机型，广泛用于气缸箱等一次减压设备。

●作为腐蚀性气体使用高耐腐蚀性的Ni-Cr-Mo合金的SH系列。

日本日酸TANAKA超高纯度压力调节器高压阀 TANAKA日酸 S-TORRⅤ2300 规格参数

使用材质接触气体部主体:隔膜:过滤器:压力表:接头:其他接触气体部:非接触气体部盖:调压手柄:SUS316L SUS316L、氟树脂C3604ABS树脂、C3604

入口侧最高使用压:出口侧最高使用压:最大流量:使用温度:重量:内置过滤器过滤过度:接触气体金属部表面粗糙度:出入口口径:外部泄漏量:15MPa1.0MPa400L/min（无）（P1=10MPa、P2=1.0MPa、N2GAS）-5～40°C1.7kg（2端口）、2.1kg（4端口）20μmRa0.25μm（可选:Ra0.1μm）1/4"1.3×10-11Pa m3/sec以下