日本日酸TANAKA高压阀压力调节器半导体用

日本日酸TANAKA高压阀压力调节器半导体用 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1300 特点介绍

S-TORR调整器在半导体散热气体生产线中获得极大信赖的TORR调整器

是贝一斯开发的超高纯度气体用压力调节器。

由于排除了接触气体部螺纹结构，并按照标准实施电解研磨，所以可以获得非常高的水分

可实现置换特性、颗粒减少。

主体与框架的连接采用焊接，隔膜部的外部密封件采用金属密封件结构。

由于具有较高的外部密封性，即使是高纯度的气体，也可以放心使用。

在一次室的流路内置过滤器1，减少了内部回流的发生。

包括直线测试在内的全部出货检验。

STV1300硅片作为一次高压用的标准机型，焊接机柜等

广泛用于一次减压设备。

日本日酸TANAKA高压阀压力调节器半导体用 TANAKA日酸 S-TORRⅤ1300 规格参数

使用材質

接气部

本体:SUS316L

膜片:SUS316L

过滤器:SUS316L

压力计:SUS316L

继手:SUS316L

其它接触气体部:SUS316L、SUS316、氟树脂

非接触气体部

盖:C3604

调压手柄:ABS树胎、C3604

S-TORR调整器在半导体散热气体生产线中获得极大信赖的TORR调整器

是贝一斯开发的超高纯度气体用压力调节器。