日本e-yamato减压阀分析仪半导体压力调节器

日本e-yamato减压阀分析仪半导体压力调节器 ER-1LL 特点介绍

可用于半导体用用途的压力调节器。

半導体·太陽電池·液晶·LED生产工厂和正在研究的大学推荐给研究机构。

制造时，高维度清洁度高気密性·为了满足高可靠性，“克林鲁一"

实施内组装、高性能清洗、全数电阻测试。

He检定采用SEMI FO1方法进行，符合标准。

日本e-yamato减压阀分析仪半导体压力调节器 ER-1LL 规格参数

ER-1LL

一次佣压力（MPa）

1~5

二次侧使用压力（MPa）

0.1~0.99

使用温度（度C）

-5~40（设计温度:-10~7摄氏度）1/4

外部响应量（Pam/sec）

螺纹接头:1.3x10以下焊接头:1.3X10-以下

相立環境

螺纹接头:10000级焊接头:1000级

纯水洗净接主本体

SUS316L

要部材質

材貿記号

分离片

SUS316L

诺科脱明

井材氟树脂

是P476其他

SUS316.氟树脂

内置过滤器一概过多20μm

重(kg)1.1

标准流量8/min（nor）

250(P=1MPa.Pe=0.6MPa)

最大流量/分钟（nor）

300（P，=1MPa.P。=0.6MPa)

可用于半导体用用途的压力调节器。

半導体·太陽電池·液晶·LED生产工厂和正在研究的大学推荐给研究机构。