日本e-yamato半导体压力调节器减压阀分析仪

日本e-yamato半导体压力调节器减压阀分析仪 ER-1HL 特点介绍

可用于半导体用用途的压力调节器。

半導体·太陽電池·液晶·LED生产工厂和正在研究的大学推荐给研究机构。

制造时，高维度清洁度为了满足高气密性、高可靠性的“克林一鲁一"

实施内组装、高性能清洗、全数电阻测试。

测试采用SEMI FO1方法进行，符合标准。

日本e-yamato半导体压力调节器减压阀分析仪 ER-1HL 规格参数

ER-1HL

一次侧压力（MPa）

2~15

二次倒使用压力（MPa）

0.1~0.99

使用温度（度C）

-5~40（设计温度:-10~7摄氏度）径1/4

外部记录量（Pam2/sec）

螺纹接头:1.3x10以下焊接头:1.3X10以下

祖立環境

螺纹接头:10000级焊接连接:1000级

纯水洗净

接气主本体

SUS316L

要部材質

材貿記号

隔膜SUS316L的脱出井材

氟树脂是P.476其他

SUS316.氟树脂

内置过滤器单过滤过度5μm

重量(kg)1.3

标准流量2/min（nor.）

250(P=10MPa,Pz=0.99MPa)

最大流量2/min（nor）

300(P,=10MPa.P:=0.99MPa)

可用于半导体用用途的压力调节器。

半導体·太陽電池·液晶·LED生产工厂和正在研究的大学推荐给研究机构。