日本e-yamato超高纯度调压阀绝压型分析仪

日本e-yamato超高纯度调压阀绝压型分析仪 SRQ-1LA 特点介绍

高钝度气体（纯度99.999~99.99999%）和腐蚀性气体的供应。

消除了滑动部，抑制了微粒的产生。采用波形隔膜，实现压力高灵敏度。

外部硅片采用奥甲基硅片。

流动方向也可制作左侧入口（左高压）型。

适合负压控制、低蒸气。

可将正压的入口压力从真空减压为正压。

日本e-yamato超高纯度调压阀绝压型分析仪 SRQ-1LA 规格参数

SRQ-1LA

一次侧压力（MPa）

0~0.99

二次倒使用压力（MPa）

-0.1~0.4

使用温度摄氏度）

-10~40（设计温度:-10~7摄氏度）1/4

外部响应量（Pam/sec）

螺纹接合:1.01x10-以下焊接合:1.02x10-以下

接气主本体

SUS316L

要部材質

材算記号隔膜SUS316L

诺科脱明井材

PTFE

是P.476其他

SUS316L

过滤器粗糙度

40μm

質量(kg)1.3

標準流量

/minNl)

15(Pl=1MPa.Pe=0.2MPa)

最大流

8/min(nor.e)

20(Pl=1MPa.P==0.2MPa)

消除了滑动部，抑制了微粒的产生。采用波形隔膜，实现压力高灵敏度。

外部硅片采用奥甲基硅片。