日本YUTAKA焊接压力调节器减压阀U31系列

日本YUTAKA焊接压力调节器减压阀U31系列 U31SS/U31SV/U31VH 特点介绍

超高纯度半导体制造工艺用精密压力调节器

功能金属垫片配件焊接规范调节阀结构平密封式散装气体兼容气体气体以外的气体标准流量100～500NL/分钟

日本YUTAKA焊接压力调节器减压阀U31系列 U31SS/U31SV/U31VH 规格参数

入口压力 6MPa以下 

调节压力 Max.0.99MPa（范围规格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00086MPa 

承受压力 一次侧9MPa 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 约1.4公斤 

e-flow 高纯度气体压力调节器旨在用于半导体工厂，是一种提高纯度并最大限度地减少外部泄漏、颗粒和死区的产品。

它用于多种气体，包括半导体工厂设施的气瓶柜、连接装置、阀箱以及设备制造商的集成单元。
该产品具有优良的气密性，非常适合特殊高压气体和有毒、腐蚀性的输送。

L系列：对焊接头、外密封金属结构的产品。
R系列：阀体旋入式（NPT）规格、外部软密封结构的产品。焊接规范为承插焊。
D系列：将L、R系列与压力控制部分组合而成的先导结构电子控制压力调节器。
U系列：特殊规格有机加工主体、对焊规格，外部密封采用金属密封结构。