日本YUTAKA焊接压力控制器调节器U25系列

日本YUTAKA焊接压力控制器调节器U25系列 U25SS/U25SH/U25SV 特点介绍

超高纯度半导体制造工艺用精密压力调节器

功能金属垫片配件焊接规范调节阀结构针型兼容气体7种特殊高压气体

腐蚀性气体有毒气体

以外的气体标准流量～60NL/分钟

日本YUTAKA焊接压力控制器调节器U25系列 U25SS/U25SH/U25SV 规格参数

入口压力 6MPa以下 

调节压力 Max.0.99MPa（范围规格：0～0.5MPa、0～0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.0016MPa 

承受压力 一次侧22.2MPa 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 约1.4公斤 

类型U25SSU25SHU25SVU25VHU25SH-CL2U25SS-N2OU25SS-NH3

气体接触部分 

主体SUS316L SUS316L

真空双熔材料 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 

阀座PCTFE（Daiflon®） 氟树脂

 聚酰亚胺

树脂 氨

专用板材 

调节阀杆SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 

压力表连接密封垫片你 

非气体接触部分 

调节器盖SUS304