日本e-yamato高纯气体用压力调节器调压阀

日本e-yamato高纯气体用压力调节器调压阀  SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL 特点介绍

高纯度气体（纯度99.999~99.99999%）和腐蚀性气体的供应。

SR-1HLVI具有特殊结构，即使从调节器出口抽真空，二次室也能获得1X104torr以上的高真空。

即使进行抽真空，气体也不会从入口侧（一次侧）流动。

可作为经济产业大臣认证品生产。在高压气体设备中使用时，请选择合格品。

也可制作流动方向体、左侧入口（左高压）型。

日本e-yamato高纯气体用压力调节器调压阀  SR-1LL/SR-2LL/SR-2.5LL 规格参数

SR-1LL

SR-2LL

SR-2.5LL

一次侧压力（MPa）

0.5~2

0.5~2

0.5~2

二次倒使用压力（MPa）

0.05~0.99

0.1~0.6

0.1~0.8

使用温度（度C）

-10~40（股计温度:-10~7摄氏度）

1/4

外部响应量（Pam/sec）

螺纹接腾:1.01x10-以下焊接统:1.01x11-以下

接气主

本体

要部材質

SUS316

材質記号

隔膜

SUS316

脱身

井材

PTFE

PCTFE

是476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

过滤器粗糙度

200墨西哥

量

(kg)

1.0

1.1

12

様準流量

8/min(mor.)

100(P=2MPa.P2=0.6MPa)

320（P）=2MPa，Pe=0.6MPa。

400(P)=2MPa.Pe=0.8MPa)

最大流量

/min(mor.)

120(P1=2MPa,Pa=0.6MPa)

400(P=2MPa,P2=0.6MPa)

500(P)=2MPa.P2=0.8MPa)