日本e-yamato高纯气体用压力调节器半导体用

日本e-yamato高纯气体用压力调节器半导体用 SR-2HH/SRQ-1HH 特点介绍

高纯度气体（纯度99.999~99.99999%）和腐蚀性气体的供应。

SR-1HLVI具有特殊结构，即使从调节器出口抽真空，二次室也能获得1X104torr以上的高真空。

即使进行抽真空，气体也不会从入口侧（一次侧）流动。

可作为经济产业大臣认证品生产。在高压气体设备中使用时，请选择合格品。

也可制作流动方向体、左侧入口（左高压）型。

日本e-yamato高纯气体用压力调节器半导体用 SR-2HH/SRQ-1HH 规格参数

SR-2HH

SRQ-1HH

一次侧压力（MPa）

2~20

4~20

二次侧使用压力（MPa）

1~15

3~15

使用温度（度C）

-10~40（股计温度:-10~7摄氏度）

3/8

1/4

外部记录量（Pam2/sec）

螺纹接头:1.01x10-以下焊接头:1.02x10-以下

接气主

本体

SUS316

SUS316L

要部材質

材貿記号

隔膜

SUS316

哈斯特洛伊

脱身

弁材

PEEK

PEEK

476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

SUS316L.SUS316.PTFE

过滤器粗糙度

40μm

40μm

質

量

(km)

4.3

1.3

標準流量

2/mininorNe)

1200（P=20MPa，P2=15MPa）。

160（P=15MPa，Pe=12MPa）

最大流量

/min(ar.N)

1600（P1=20MPa，Pz=15MPa）。

200（P=15MPa，Pz=12MPa）。