日本e-yamato高纯气体用压力调节器调压阀

日本e-yamato高纯气体用压力调节器调压阀 SR-1HL/SR-2HL 特点介绍

高纯度气体（纯度99.999~99.99999%）和腐蚀性气体的供应。

SR-1HLVI具有特殊结构，即使从调节器出口抽真空，二次室也能获得1X104torr以上的高真空。

即使进行抽真空，气体也不会从入口侧（一次侧）流动。

可作为经济产业大臣认证品生产。在高压气体设备中使用时，请选择合格品。

也可制作流动方向体、左侧入口（左高压）型。

日本e-yamato高纯气体用压力调节器调压阀 SR-1HL/SR-2HL 规格参数

型式

SR-1HL

SR-1HLV（高真空支持）

SR-2HL

一次侧压力（MPa）

2~15

二次倒使用压力（MPa）

0.1~0.99

使用温度（度C）

-10~40（设计温度:-10~7摄氏度）

1/4

外部响应量（Pam/sec）

螺纹连接:1.01x10以下焊接精:1.01x 10-以下

接气主

本体

要部材質

SUS316

材算記号

隔膜

SUS316

科脱明

弁材

PCTFE

是P.476

其他

SUS316.SUS304.PTFE

过滤器粗糙度

600墨西哥

質

量

(kg)

1.2

1.3

标准流量8/min（nor.）

150(P)=15MPa.P:=0.99MPa)

300(P)=15MPa.Pe=0.6MPa)

最大流量2/min（nar.）

180(Pl=15MPa.Pz=0.99MPa)

360（P1=15MPa.P==0.6MPa)