日本YUTAKA低压大流量型压力控制器L36系列

日本YUTAKA低压大流量型压力控制器L36系列 L36SS/L36SH 特点介绍

L36系列是用于半导体工艺制造气体的低压型产品，设计紧凑但能够提供最大流量。它具有出色的外部泄漏和颗粒性能，使其成为阀箱和连接装置的理想选择。

功能低压1MPa以下

焊接规格金属垫片管件调节阀结构针型兼容气体7种特殊高压气体

腐蚀性气体有毒气体

以外的气体标准流量100～500NL/分钟

日本YUTAKA低压大流量型压力控制器L36系列 L36SS/L36SH 规格参数

入口压力 2MPa以下 

调节压力 Max.0.99MPa（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.0075MPa 

承受压力 6MPa（入口侧） 

CV值 1.1 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/sec·He（真空法） 

大量的 约2公斤 

3/8"、1/2" 面密封接头尺寸

（公母相同）…………………………约 132mm

[备注]

■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4″ 外螺纹面密封接头。

 ■ 进出口接头的类型、尺寸和形状（外螺纹、内螺纹）组合如图所示。您可以从下面所示的产品编号代码表中进行选择。