日本YUTAKA中压中流量型压力控制器L35系列

日本YUTAKA中压中流量型压力控制器L35系列 L35SS/L26SH/L35SH-CL2 特点介绍

L35系列是专为低压和中压半导体工艺制造气体设计的产品。基本结构为外部金属密封和焊接接头，具有优异的外泄漏和颗粒性能。

由于流量范围有所增加，因此它非常适合用于为具有 3/8 尺寸管道的设备供电的阀箱和连接装置。

功能中压6MPa以下

低压1MPa以下

焊接规格 金属垫片接头调节阀结构针型兼容气体其他

燃气设备标准流量100～500NL/分钟

日本YUTAKA中压中流量型压力控制器L35系列 L35SS/L26SH/L35SH-CL2 规格参数

调节压力 Max.0.9MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.9MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.0007MPa 

承受压力 9MPa（入口侧） 

CV值 0.21 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 11.3cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约1.9公斤 

类型L35SSL26SHL35SH-CL2L35SS-N2OL35SS-COL35SS-NH3

气体接触部分 

主体SUS316L 

调节阀杆SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

阀座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金® C-22 SUS316L 哈氏合金®C-22 

阀座PCTFE（Daiflon®） 特种

氟树脂 聚酰亚胺

树脂 PCTFE

（Daiflon®） 氨

专用板材