日本YUTAKA中低压流量型压力控制器L26系列

日本YUTAKA中低压流量型压力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 特点介绍

L26系列是一款设计用于低压和中压半导体工艺制造气体的产品。

基本结构是外部金属密封和焊接接头，使其成为与L25产品相比基本性能有所提高的过渡产品。

该产品具有优异的外泄漏和颗粒性能，使其成为设备供应中使用的阀箱和连接装置的理想选择。

调节压力 Max.0.99MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.001MPa 

承受压力 一次侧22.2MPa 

CV值 0.21 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 4.75cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 1公斤 

日本YUTAKA中低压流量型压力控制器L26系列 L26SS/L26SH/L26SH-CL2 规格参数

类型L26SSL26SHL26SH-CL2L26SS-N2OL26SS-COL26SS-NH3

气体接触部分 

主体SUS316L 

调节阀杆SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

阀座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金® C-22 SUS316L 哈氏合金®C-22 

阀座PCTFE（Daiflon®） 特种

氟树脂 聚酰亚胺

树脂 PCTFE

（Daiflon®） 氨

专用板材