日本YUTAKA绝压型真空调节控制器L96系列

日本YUTAKA绝压型真空调节控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 特点介绍

L96系列是专为半导体工艺制造气体设计的具有真空可调结构的产品。非常适合低蒸气压气体。

基本结构为外部金属密封和焊接接头规范，使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。

功能低压1MPa以下

焊接规格金属垫片管件调节阀结构针型兼容气体7种特殊高压气体

腐蚀性气体有毒气体

以外的气体标准流量～60NL/分钟

日本YUTAKA绝压型真空调节控制器L96系列 L96SS/L96SH/L96SS-CO 规格参数

入口压力 0.99MPa以下 

调节压力 -0.1MPa～0～0.2MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.07 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 5.739cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约1.6公斤 

1/4"面对面密封接头尺寸

（公母相同）…………………………约94mm

[备注]

■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4" 外螺纹面密封接头。

■ 进出口接头的类型、尺寸和形状（外螺纹、内螺纹）组合如图所示。可以从以下所示的产品型号代码表中进行选择。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接头的面对面尺寸可能与标准面对面尺寸不同。