日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列

日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列 L88SS 特点介绍

L88系列是针对半导体制造气体B2H6而设计的二级减压结构的产品。

作为抑制B2H6减压生成产物的措施，中间压力为3MPa，调节阀结构为平密封型，采用PCTF调节阀座，抑制了缺陷。它也非常适合绝热膨胀变化较大的 NF3。

功能高压

焊接规范金属垫片配件调节阀结构平密封式散装气体兼容气体7 种特殊高压气体

腐蚀性气体

有毒气体以外的气体 纯

气体设备标准流量～60NL/分钟

日本YUTAKA绝压型压力控制器设备L88系列 L88SS 规格参数

源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00075MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.08 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 12.58cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约2.4公斤 

1/4" 面对面密封接头尺寸（公头）…约 88mm

1/4" 面对面密封接头尺寸（母头）…约 105mm

[备注]

■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4" 外螺纹面密封接头。

■ 进出口接头的类型、尺寸和形状（外螺纹、内螺纹）组合如图所示。可以从以下所示的产品型号代码表中进行选择。

■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接头的面对面尺寸可能与标准面对面尺寸不同。

产品编号代码