产品展示/ Product display
日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20L81系列是一款专为半导体工艺制造气体设计的产品,具有两级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规范,使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。两级减压结构不易受气源压力波动的影响,提供稳定的压力和流量,非常适合液化气绝热膨胀导致温降较大的气体。
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日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 特点介绍
L81系列是一款专为半导体工艺制造气体设计的产品,具有两级减压结构。基本结构为外部金属密封和焊接接头规范,使其成为具有优异的外泄漏和颗粒性能的产品。
两级减压结构不易受气源压力波动的影响,提供稳定的压力和流量,非常适合液化气绝热膨胀导致温降较大的气体。
功能高压
焊接规范金属垫片配件调节阀结构针型兼容气体7 种特殊高压气体
腐蚀性气体
有毒气体以外的气体 纯
气体设备标准流量~60NL/分钟
日本YUTAKA压力控制器焊接金属垫片L81系列 L81SS/L81SH/L81SS-N20 规格参数
调节压力 Max.0.99MPa
(范围规格:0~0.2MPa、0~0.4MPa、0~0.6MPa、0~0.8MPa、0~0.99MPa)
气源压力波动 入口压力:每0.1MPa,调节压力变化量0.000007MPa
承受压力 22.2MPa(进口侧)
CV值 0.03
工作温度 -10~+40℃
外漏 1×10-11Pa·m3/s·He(真空法)
内部容积 8.9cm(不含3个压力表及接头)
大量的 约2.0公斤
1/4" 面对面密封接头尺寸(公母相同)………………………………约 100mm
[备注]
■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4" 外螺纹面密封接头。
■ 进出口接头的类型、尺寸和形状(外螺纹、内螺纹)组合如图所示。可以从以下所示的产品型号代码表中进行选择。
■ UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接头的面对面尺寸可能与标准面对面尺寸不同。