日本YUTAKA高压大流量气压计控制器L62系列

日本YUTAKA高压大流量气压计控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 特点介绍

L62系列是专为高压、大流量半导体工艺生产气体设计的产品，其基本结构为外部金属密封和焊接接头，具有优异的外泄漏和颗粒性能。该产品增加了流量，是气瓶柜的理想选择。

我们的L61系列的针结构类型（面对面尺寸相同）。

可根据使用气体选择阀座材料。

日本YUTAKA高压大流量气压计控制器L62系列 L62SS/L62SH/L62SS-CO/L62SS-I 规格参数

适用气体 高纯气体 

入口压力 14.8MPa以下（最大19.6MPa） 

调节压力 Max.0.8MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa） 

气源压力波动 进口压力：每0.1MPa，调节压力变化0.001MPa以下 

承受压力 22.2MPa（进口压力） 

CV值 0.11 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 32.3cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约4.7公斤 

■ 类型：L62 SS-CO 是专门针对一氧化碳（CO）气体而选择的材料。

请不要与其他气体一起使用。

■ 类型：L62 SS-I 是使用氦气 (He) 或氢气 (H2) 时的理想选择。