日本YUTAKA压力控制设备高压大流量L61系列

日本YUTAKA压力控制设备高压大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 特点介绍

L61系列是针对高压、大流量半导体工艺生产气体而设计的产品。调节阀的平密封结构保证了小行程下的大流量。

功能高压

焊接规范金属垫片配件调节阀结构平密封式散装气体兼容气体气体以外的气体标准流量100～500NL/分钟

日本YUTAKA压力控制设备高压大流量L61系列 L61SS/L61SS-CO 规格参数

调节压力 Max.0.8MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.8MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.0006MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.07 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 32.3cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约4.7公斤 

1/4"面对面密封接头尺寸

（公母相同）………………………………约126mm

3/8"/1/2"面对面密封接头尺寸

（公母相同）………………………………约152mm

[备注]

■ 压力表连接接头的标准尺寸和形状为1/4" 外螺纹面密封接头。

■ 进出口接头的类型、尺寸和形状（外螺纹、内螺纹）组合由下式确定。您可以从表中所示的产品编号中进行选择。

■ 除UJR®、VCR® 和CVC® 以外的接头的面对面尺寸可能与标准面对面尺寸不同。