日本YUTAKA高压流量计压力控制器L21系列

日本YUTAKA高压流量计压力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 特点介绍

L21系列是专为使用高压半导体工艺制造气体而设计的产品。基本结构为外部金属密封和焊接接头，基本性能较L20系列有所提高。

该产品具有优异的外漏和颗粒性能，是气缸柜的理想选择。

■压力表连接接头的尺寸和形状为1/4"面密封接头的雄性为标准。

·入口出口接头的种类尺寸和形状（雄性、雌性）的组合可从产品编号表中显示的组合中进行选择。

■UJR®、VCR®、CVC®以外的接头的面间尺寸可能与标准面间尺寸不同。

日本YUTAKA高压流量计压力控制器L21系列 L21SS/L21SH/L21SS-CO 规格参数

入口压力14.8MPa以下（最大24MPa）

调节压力Max.0.99MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）

气源压力波动进口压力：每0.1MPa，调节压力变化0.0005MPa以下

承受压力31.5MPa（入口侧）、1.5MPa（调节侧）

CV值0.09

工作温度-10~+40℃

外漏1×10-11Pa·m3/s·He（真空法）

内部容积4.75cm（3个压力表，不含接头） 4.75cm（3个压力表，不含接头）

大量的约1.4公斤