日本YUTAKA半导体用压力控制设备L20系列

日本YUTAKA半导体用压力控制设备L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 特点介绍

L20系列是专为高压半导体工艺制造气体而设计的产品。基本结构是外部金属密封和焊接接头，使其成为具有优异的外部泄漏和颗粒性能的产品。

此外，我们还提供多种选择来容纳各种高纯度气体，使其成为气瓶柜的理想选择。

日本YUTAKA半导体用压力控制设备L20系列 L20SS/L20SH/L20SS-CO 规格参数

入口压力 14.8MPa以下（最大19.6MPa） 

调节压力 Max.0.99MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa） 

气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00021MPa 

承受压力 22.2MPa（进口侧） 

CV值 0.09 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

内部容积 4.67cm（不含3个压力表及接头） 

大量的 约1.29公斤 

主体SUS316L 

调节阀杆/阀座SUS316L 哈氏合金®C-22 SUS316L 

隔膜哈氏合金®C-22 SUS316L 

阀座PCTFE（Daiflon®） 

缓冲弹簧不锈钢316 哈氏合金® 不锈钢316 

压力表连接密封垫片你 不锈钢316 

非气体接触部分 

阀盖 (A)不锈钢316 

发动机罩 (B)黄铜（镀镍） 

帽SUS304