日本YUTAKA高纯度气体压力控制设备L18H系列

日本YUTAKA高纯度气体压力控制设备L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 特点介绍

L18H系列是一款1.5英寸SEMI标准块压力调节器，专为设备制造商的集成供气系统而设计。另外，作为L18产品的后继产品，流量特性也得到了极大的改善。

主体焊接接头规格也非常适合节省阀箱空间。

排放流量大约是之前产品 L18 系列的两倍（相同的面对面尺寸）

隔膜外密封采用金属密封。

日本YUTAKA高纯度气体压力控制设备L18H系列 L18HSH/L18HSV/L18HVH 规格参数

适用气体 高纯气体 

入口压力 0.99MPa以下 

调节压力 Max.0.7MPa

（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.7MPa） 

承受压力 1.5MPa（入口侧） 

CV值 0.1 

工作温度 -10~+40℃ 

外漏 1×10-11Pa·m3/s·He（真空法） 

大量的 约0.36公斤 

安装方法 使用后部螺钉安装 

类型L18高速钢L18HSHL18HSVL18HVHL18HSH-CL2

气体接触部分 

主体SUS316L SUS316真空双熔材质 SUS316L 

隔膜哈氏合金® C-22 

阀座PCTFE（Daiflon®） 氟树脂 

调节阀杆SUS316L 哈氏合金®

C-22 SUS316L 哈氏合金® C-22