日本kk-ace气压计控制器EPS5000系列差压表

日本kk-ace气压计控制器EPS5000系列差压表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 特点介绍

该装置是防止单晶圆清洗设备的主排气管道中的压力波动导致制造过程波动的装置。我们开发的气动橡胶膨胀阀可实现高速压力控制，尺寸小，压力损失极低。

通过适当控制排气压力，还可以适当管理排气流量，从而可以通过管理排气管道的总流量和压力来显着降低能源成本。

主要用途

❖ 单晶圆清洗设备的腔室压力控制

❖ 洁净通风室和洁净卡车的室压控制

❖ 受排气管压力波动影响的设备和工艺

❖ 液晶显示风刀罐排气压力控制

❖ 洁净室排气压力控制

日本kk-ace气压计控制器EPS5000系列差压表 EPS-5200/EPS-5150/EPS-5100 规格参数

压力损失 15 Nm3/min 时 50Pa（空气） 10 Nm3/min 时20Pa以下（空气） 10 Nm3/min 时20Pa以下（空气） 

控制阀连接 200A 管道输出 150A 管道输出 100A配管 

调节压力范围（一次侧压力） -50至-999Pa（取决于与大气压力和二次压力的压差） 

二次压力（阀门下游压力） (控制压力-50)Pa以下 

如果压差小于该值，则初次调节范围会变窄。 

压力精度 ±2%满量程  

控制纹波（稳定控制时的变化） ±1%满量程（二次侧压力波动±10Pa以内） 

耐压（一次侧压力） 50kPa以内（与大气压的压差） 

反应能力 2 秒内完成 98% 的设置（典型） 

流体温度 10～50℃ 

主机环境温度（精度保证温度） 15-35℃ 

电源电压 24V直流±10% 

外部输出 压力信号：1至5V DC 

报警：NPN晶体管集电极开路 DC 30V<100mA