日本kk-ace压力控制器内置传感器高精度测量

日本kk-ace压力控制器内置传感器高精度测量 AP250/AP500 特点介绍

AP250、AP500是适合半导体制造工序等中使用的洁净气体的压力控制的大流量型控制器，由气压控制部（相当于AP100N）和圆顶型调节器部构成。

　另外，外部附有压力传感器，传感器的信号输入到气动控制部分，控制气动控制组中的阀门的开/关，以调节调节器部分中圆顶的内部压力。 ，并自动控制外壳压力以匹配任何设定压力值。也可通过外接流量传感器作为流量控制器使用。

AP250的最大控制流量为5001/min，AP500的最大控制流量为2000L/min，两种类型的最大控制压力约为600kPa。

　对于压力接头，AP250 与 1/2" VCR 兼容，AP500 与 3/4" SWAG 或 3/4" VCR 等效件兼容。对于真空中使用，请使用等效的清洁气体或惰性气体作为导体。与所有气体包括 、腐蚀性气体和危险气体。

日本kk-ace压力控制器内置传感器高精度测量 AP250/AP500 规格参数

模型 AP250 AP500 

主要用途 用于 FPD、燃料电池 用于 FPD、燃料电池 

目标气体 N2、空气、H2等 N2、空气、H2等 

入口压力 999kPa以下 999kPa以下 

耐压性 小于1500kPa 小于1500kPa 

压力设置 用显示设定装置设定 用显示设定装置设定 

控制方式 穹顶内气动控制 穹顶内气动控制 

控制压力 0～500kPa 0～500kPa 

最大流量 500升/分钟 2000升/分钟 

响应时间 1秒达到设定值 1秒达到设定值 

输入信号 0~5VDC 连续/关闭 0~5VDC 连续/关闭 

RS485 RS485 

外部传感器输入 （4-20mA标准） （4-20mA标准）