日本kk-ace压力控制器半导体调节内置传感器

日本kk-ace压力控制器半导体调节内置传感器 AP160M 特点介绍

AP160M是与半导体制造工艺等中使用的气体兼容的控制器，通过自动控制比例电磁阀的开度来自动调节管道内的压力。由于它具有内置压力传感器，因此无需添加外部传感器。

最大控制压力约为650kPa，最大控制流量为100kPa压差，喷射量有500cc/min和3000cc/min两种。AP160M型号通过脉冲宽度调制控制比例电磁阀，提高了响应性并消除了迟滞，因此在约1秒内达到设定压力。

压力接头相当于1/4" VCR，所有气体接触部件和压力传感器均由金属制成，使其兼容所有气体，包括半导体工艺气体，以及惰性气体、腐蚀性气体和危险气体是有可能的。

日本kk-ace压力控制器半导体调节内置传感器 AP160M 规格参数

压力设置 需要从计算机等输入压力设定值。 

控制方式 比例电磁阀纸浆控制批发商 

控制压力 0～500kPa 

最大流量 压差100kPa时有500cc/min和3000cc/min两种 

响应时间 1秒达到设定值 

输入信号 0 5VDC 持续/关闭 

R485 

外部传感器输入 （4个20A可能） 

输出信号 报警输出 RS485.0~5VDC 

配件 1/4〃VCR同等产品 

阀座泄漏 10-6Pa·m3/秒以下 

准确性 ±5kPa（800kPaFS 时） 

电源电压 24VDC±10% 

目前的消费 最大 200mA