日本alnair-labs硅片厚度测量仪光学检查仪

日本alnair-labs硅片厚度测量仪光学检查仪 Alnair Labs SIT-200 特点介绍

1、机械损耗低、机械滞后低

2.可制造长行程产品。

3、维护方便

4、结构简单，不存在常规产品因卡胶而发生故障的现象。

　　 气缸滑动部位通过小泄漏气膜进行润滑，滑动阻力低，磨损极小。

5. 微压操作

6、寿命长

7、操作油缸部分采用CFRP（增强碳纤维管）制成，重量轻。

8. 抗不平衡负载能力

9. 气缸杆可承受高负载（直线导轨）

10. 活塞部分使用滚珠衬套与线性导轨集成在一起

日本alnair-labs硅片厚度测量仪光学检查仪 Alnair Labs SIT-200 规格参数

测定対象物

シリコン基板

厚み測定範囲

10~500 (n=3.5のとき)

μm

測定光源

波長可变光源(1515~1585)

nm

光出力バフ一

0.6、クラス1

mW

ガイド用光源

赤色LD、 クラス1M

計測時間

最小20

ms

測定再現性

0.1以下 (3σにおいて)

μm

モ二タ出力

干涉出力信号

PO インタ一フエ一ス

Ethernet

電源電庄

AC 100-240(50/60 Hz)V

外観寸法(WxHxD)

364x 147x391mm

重量

9kg

工作温度和湿度 20℃～25℃ 50%RH以下

可制造型号 悬臂式单作用，带双滚珠衬套

最小驱动压力 200pa（低摩擦规格） φ40用

漏气量 90L/min以下（0.4Mpa时） φ40×200ST用（低摩擦规格）

滞后现象 平均0.6N φ40×200ST

位置负载能力 φ40×200ST 3430N（最大动载荷）