热门搜索：日本物性测试仪、石川擂溃机、水泥水分计、脱气消泡罐、粉体硬度计、日本食感试验机
深圳秋山工业设备有限公司 全国咨询热线：13823182047
TECHNICAL ARTICLES
相关文章
UV灯光源用于晶圆边缘曝光ARK-T EW01S/EW04S用于晶圆周边曝光的 UV-LED 光源，与 g 线和 i 线抗蚀剂兼容。
产品型号：EW01S/EW04S厂商性质：经销商更新时间：2024-10-07访 问 量：149
立即咨询
联系电话：13823182047
UV灯光源用于晶圆边缘曝光ARK-T EW01S/EW04S
UV灯光源用于晶圆边缘曝光ARK-T EW01S/EW04S
不仅可以安装在新设备上，还可以方便地替换目前使用的UV灯光源。
配备UV-LED，可降低功耗，减少对环境的影响，延长光源的使用寿命，并且无需任何机械消耗部件，大大有助于降低客户的运行成本。
光学设计实现了超过 7,000mw/cm² 的高输出。它是处理厚膜抗蚀剂的理想选择，以前需要大量的处理时间。此外，可以显着缩短曝光处理时间，大大有助于增加处理的晶圆数量。
| 物品 | 内容 |
|---|---|
| 工作环境温度 | 5～40℃（无凝结） |
| 电源电压 | 单相100~240V |
| 工频 | 50/60赫兹 |
| 发射峰值波长 | 365±5nm |
| 光输出稳定性 | ±5%以内 |
| 初始紫外线强度 | 2000mw/c㎡以上（at365nm，距离掩模版0.5mm） |
| 强度分布均匀性 | 10% 或更少（4 x 5 mm 面积） |
| 紫外光源 | 紫外LED |
| UV光源寿命 | 20,000 小时（驱动电流下的预计寿命）* UV 强度为初始值的 50% 或以上时的累积点亮时间 |
| 照射ON/OFF功能 | UV-LED 开/关控制（通过远程和手动控制开/关灯） |
| 光强调节功能 | UV-LED 电流调节 光强度调节范围为 20 至 99% |
| 外观材质 | 防锈的 |
| 外形尺寸 | 150（宽）×200（深）×192（高）毫米 |
您的位置：
