TECHNICAL ARTICLES
相关文章高亮度卤素灯半导体晶圆光源YAMADA/日本YP-150I这是一种光源装置,通过使用用于检查 Si 晶圆和玻璃表面上的划痕的照明光源提供 400,000Lux(30Φ)或更高的照明,可以观察到细微的划痕。
联系电话:13823182047
高亮度卤素灯半导体晶圆光源YAMADA/日本YP-150I
1、可照亮样品表面400,000Lx以上。
2、光源采用卤素灯,色温高,照度不均小,光线极其稳定锐利。
3、采用冷镜,热量的影响极大地降低到传统铝镜的1/3。
4、两级切换机构,一键实现高照度观察和低照度观察。
YP-150I 照度范围:30mmφ
YP-250I 照度范围:60mmφ
超精密平面检测的理想选择!通过惊人的照明,可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。
YP-150I"是一种用于显微观察的照明装置,用于检测
高亮度卤素灯半导体晶圆光源YAMADA/日本YP-150I
1、可照亮样品表面400,000Lx以上。
2、光源采用卤素灯,色温高,照度不均小,光线极其稳定锐利。
3、采用冷镜,热量的影响极大地降低到传统铝镜的1/3。
4、两级切换机构,一键实现高照度观察和低照度观察。
YP-150I 照度范围:30mmφ
YP-250I 照度范围:60mmφ
超精密平面检测的理想选择!通过惊人的照明,可以检测小于 0.2 μm 的缺陷。
YP-150I"是一种用于显微观察的照明装置,用于检测
最终成品表面上的各种缺陷,如异物、划痕、抛光不均匀、雾度、滑移等,是半导体加工过程中劳动强度的一种。晶圆和液晶板
另外,由于采用卤素灯作为光源,色温高,
光照不均匀的情况很少,光照***稳定锐利。
姊妹机“YP-250I"也可用于 8 英寸。
光源采用卤素灯
■ 可以将样品表面照射到400,000 Lx或更高
■ 热量的影响降低到传统铝镜的1/3
■ 高照度观察和低照度观察可一键切换
请用于超精密平面检测!