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更新时间：2024-05-07 
浏览次数：223日本进口YATAKA半导体制造用压力控制设备高纯度气体用压力调节器R20系列
R20系列是专为高压、高纯气体设计的产品。这是旧ERS系列的后继产品，其基本结构是内置过滤器和与主体的螺纹连接，使其成为一种高度通用的产品，可以安装各种配件。
车身承插焊支持UJR等焊接接头规格。
功能高压
焊接规格 金属垫片接头 旋
入式规格 双压缩环
接头 气缸安装调节阀结构针型兼容气体气体以外的气体标准流量～60NL/分钟
调节压力 Max.0.99MPa
（范围规格：0-0.2MPa、0-0.4MPa、0-0.6MPa、0-0.99MPa）
气源压力波动 入口压力：每0.1MPa，调节压力变化量0.00086MPa
承受压力 22.2MPa（进口侧）
CV值 0.08
工作温度 -10~+40℃
外漏 螺纹规格（P）：1×10-9Pa·m3/s·He（真空方式）
焊接规格（W）：1×10-11Pa·m3/s·He（真空方式）
（但是，等级“C"（ N2气24小时封装测试）
内部容积 4.67cm（不含3个压力表及接头）
大量的 约1.29公斤
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